中空糸膜 ステラポアー®
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脱気膜モジュール
「MHF(三層複合中空糸膜)」とは
※2004年第60回繊維学会賞受賞
三菱レイヨンが世界で最初に商品化した、まったく新しい構造の「MHF三層複合中空糸膜」は、特殊機能(ガス高透過性)のある非多孔質の超薄膜を多孔質層でサンドイッチ状に挟み込んだ構造を有しています。
非多孔質構造を有しているため、減圧側へ液体は透過しません。(液体の種類によっては透過することがあります。)
非多孔質膜は超薄膜であるため、優れたガス透過性を有します。
非多孔質膜はポリエチレン多孔質層にサンドイッチされ、損傷を受けにくくなっています。
溶存酸素を1μg/L(ppb)以下の超低濃度まで脱気可能です。
MHFを用いた脱気のしくみ
水中に溶存するガスは、中空糸膜の内外間のガス濃度差をドライビング・フォースとして非多孔質膜を透過して除去されます。膜の内外に濃度差を生じさせるには、膜を隔てた一方の空間を真空状態にする方法が有効です。MHFは、溶解・拡散機構により非多孔質の薄膜によってガス分子のみが透過するという特長を持っています。
脱気の仕組み 処理フロー例
MHF膜脱気の特徴
接触面積を非常に大きく取れるため、高効率処理が可能です。
また、モジュールが非常にコンパクトになります。
インラインでの連続処理に適しています。
用途 機能 効果

LSI, LCD洗浄用水 溶存酸素の除去 酸化皮膜の形成防止
溶存炭酸ガスの除去 ポリッシャーへの負荷軽減
炭酸ガスの溶解 電気伝導度の調整
ビル給水、空調用水 溶存酸素の除去 配管の腐食防止
食品用水 溶存空気の除去 充填量均一化、成分の酸化劣化防止
超音波洗浄用水 溶存酸素の除去 金属部品の防錆
溶存空気の除去 槽内音圧の強化、均一化
分析装置用水 脱泡 微量定量性の向上
薬液系 半導体薬液
インク
マイクロバブル除去
溶存空気の除去
パターン欠陥防止
印字精度の向上
製品紹介
水系脱気用途ハウジング一体型
一体型で使いやすい
MHF0504MBFT/1704/3504 流量 0.5L/min 20M0060A
(MHF0504MBFT)
流量 8~12L/min 20M1500A
(MHF1704)
流量 24~32L/min 20M3400A
(MHF3504)
水系脱気用途カートリッジ型
交換できて経済的
MHF304KMD/EED 流量 2~3L/min 20E0240A3 (MHF304KMD)
20E0240A1 (MHF304EEDF)
流量 8~12L/min 20E0240A3 (3本)20E0240A1 (3本)        
溶剤・薬液用脱気モジュール
MHF398MDEST 耐薬品性に優れる
導入事例
  水系脱気用途ハウジング一体型 導入事例
■日本酒脱気
対象液:日本酒
目的:脱酸素による品質劣化防止
モジュール:20M3400A(MHF3504)
提供:出羽桜酒造株式会社 様
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